显微镜表面粗糙度检测

因业务调整，部分个人测试暂不接受委托，望见谅。

检测项目

Ra（轮廓算术平均偏差）、Rz（最大高度粗糙度）、Rq（均方根粗糙度）、Rt（总高度）、Rp（最大峰高）、Rv（最大谷深）、Rsk（偏斜度）、Rku（陡度）、Rsm（轮廓单元平均宽度）、Rmr（材料比率曲线）、Pc（峰计数）、λq（均方根波长）、Sa（三维算术平均高度）、Sq（三维均方根高度）、Sz（三维最大高度）、Sdr（界面扩展比）、Vmp（峰值材料体积）、Vvv（谷值空隙体积）、PSD（功率谱密度）、ACF（自相关函数）、RMS梯度、分形维数、各向异性指数、表面支承指数、波纹度分离参数、滤波截止波长、局部斜率分布、微凸体分布密度、接触刚度系数、弹性变形量预测

检测范围

光学透镜、棱镜镀膜面、晶圆抛光面、MEMS器件结构层、磁头滑轨面、精密轴承滚道、注射模具型腔、刀具切削刃口、涡轮叶片气膜孔、光纤端面、蓝宝石窗口片、光刻掩模版、真空镀膜基板、微流控芯片通道、纳米压印模板、磁盘存储介质、激光谐振腔镜面、红外探测器窗口、生物医学植入体表面、燃料电池双极板、航天器热控涂层、X射线反射镜、原子钟谐振腔体、量子计算芯片基底、超导薄膜表面、纳米压痕测试区域、微机电弹簧接触面、光子晶体结构面、微阵列探针尖端

检测方法

1.白光干涉显微术：利用宽带光源产生干涉条纹，通过相移算法重建三维形貌，测量范围0.1nm-1mm2.激光共聚焦显微术：采用点扫描方式获取层析图像，轴向分辨率达10nm，适合陡峭侧壁测量3.原子力显微术（AFM）：探针接触式扫描实现原子级分辨率，可测0.1nm-10μm范围的表面特征4.焦点变化显微术：通过快速变焦获取景深信息，适用于大倾角表面(可达87)的粗糙度分析5.数字全息显微术：记录并重建物光波前相位信息，实现动态过程的三维形貌实时监测6.散射光分析法：基于光散射强度与表面统计参数的相关性进行快速在线检测7.电子隧道显微术（STM）：在真空环境下探测电子隧道电流变化，实现原子级表面成像8.X射线反射法：通过X射线反射率曲线反演表面粗糙度参数及薄膜厚度信息9.触针式轮廓术：机械探针接触扫描获得二维轮廓数据，符合传统粗糙度评定标准10.数字图像相关法：结合显微成像与图像处理算法提取亚像素级位移场

检测标准

ISO4287:1997产品几何量技术规范(GPS)表面结构:轮廓法术语定义及表面参数ISO25178-2:2022产品几何量技术规范(GPS)表面结构:区域法第2部分:术语定义及表面纹理参数ASMEB46.1-2019表面纹理标准:表面粗糙度,波纹度和纹理方向GB/T3505-2020产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法术语定义及表面结构参数ASTME284-22光学和触觉表面纹理测量相关标准术语DINENISO13565-2:1998几何产品规范(GPS)具有分层功能特性的表面结构JISB0601:2022产品几何规格(GPS)-表面纹理:轮廓曲线法-术语,定义及表面纹理参数ISO/TS16610-22:2015GPS滤波-轮廓滤波器:样条滤波器VDI/VDE2650-2018光学三维测量系统特性描述指南GB/T10610-2009产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法

检测仪器

1.ZygoNewView系列白光干涉仪：配置100倍Mirau物镜实现0.1nm垂直分辨率，内置ISO标准分析模块2.KeyenceVK-X3000激光共聚焦显微镜：配备405nm紫色激光器与高速扫描振镜系统支持大面积拼接测量3.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：集成多波段光源与振动隔离系统适应工业现场环境下的纳米级测量4.ZeissLSM900共聚焦系统：采用GaAsP高灵敏度探测器实现低反射率表面的高信噪比成像5.ParkSystemsNX20原子力显微镜：具备智能扫描模式与热漂移补偿功能保障长期测量稳定性6.AliconaInfiniteFocusG5变焦显微镜：结合轴向色差原理实现0.8nm分辨率与大视场快速测量7.TaylorHobsonCCIHD非接触式轮廓仪：采用专利相干相关干涉技术提升陡坡表面的测量精度8.SensofarSneox三维光学轮廓仪：模块化设计支持共聚焦/干涉/焦点变化三种测量模式自由切换9.MitutoyoSJ-500触针式粗糙度仪：符合JIS/ISO标准的接触式测量系统最高取样长度80mm10.BrukerDektakXT台阶仪：配备12μm半径触针实现薄膜台阶高度与粗糙度的同步测量

检测流程

1、咨询：提品资料(说明书、规格书等)

2、确认检测用途及项目要求

3、填写检测申请表(含公司信息及产品必要信息)

4、按要求寄送样品(部分可上门取样/检测)

5、收到样品，安排费用后进行样品检测

6、检测出相关数据，编写报告草件，确认信息是否无误

7、确认完毕后出具报告正式件

8、寄送报告原件