晶面间距测量:直接测量样品中特定晶面族在投影方向上的间距,是计算晶格常数的基础。
晶体结构鉴定:通过测量不同晶面的夹角和间距,与标准卡片对比,确定材料的晶体结构(如FCC、BCC等)。
应变场分析:通过测量局部区域晶格常数的变化,定量分析材料内部的弹性应变场分布。
缺陷处晶格畸变:检测位错、层错等晶体缺陷核心区域的原子排列畸变与晶格常数异常。
界面/相界结构表征:精确测量异质结、相界两侧的晶格常数,分析界面共格、半共格或非共格状态。
纳米颗粒尺寸与晶格:同时测定纳米颗粒的尺寸、形状及其内部的晶格常数,研究尺寸效应。
超晶格周期测量:对人工超晶格、多层膜材料,测量其调制周期和组成层的晶格参数。
固溶体组分估算:根据Vegard定律,通过晶格常数的变化来估算固溶体合金的局部化学成分。
应力状态评估:结合晶体学取向,通过多方向晶格常数测量评估三维应力状态。
原子柱偏移测量:检测铁电、压电材料中原子柱相对于理想位置的偏移,关联极化矢量。
半导体异质结与量子阱:用于测量GaAs/AlGaAs、SiGe/Si等器件外延层的晶格失配与应变。
催化纳米材料:分析Pt、Pd等金属或氧化物催化剂的纳米颗粒、团簇的晶格结构与应变。
二维层状材料:如石墨烯、过渡金属硫化物(MoS2)的层数、堆垛方式及层间耦合引起的晶格变化。
高温合金与金属间化合物:表征析出相(如γ‘相)与基体的晶格错配度,关联强化机制。
功能氧化物薄膜:铁电体(如PZT)、多铁材料(如BiFeO3)在衬底约束下的晶格畸变与畴结构。
锂离子电池电极材料:在充放电过程中,实时或原位观察正负极材料晶格常数的演化(相变)。
界面原子扩散层:检测焊接、键合、涂层界面处互扩散形成的反应层厚度与晶格梯度。
辐照损伤材料:评估核材料、航天材料受粒子辐照后产生的空洞、位错环周围的晶格膨胀。
地质矿物微粒:对微小的矿物颗粒进行晶体结构解析与晶胞参数精确测定。
生物矿物与仿生材料:如骨骼、贝壳中羟基磷灰石等矿物相的晶体学取向与晶格特征。
样品制备与取向校准:通过FIB或电解抛光制备电子透明薄区,并倾转样品至特定的低指数晶带轴。
HAADF-STEM图像采集:在扫描透射电镜模式下,使用高角度环形探测器收集高分辨原子序数衬度像。
快速傅里叶变换分析:对获取的原子分辨率图像进行FFT,得到JianCe的衍射斑点,用于测量晶面间距和夹角。
实空间直接测量法:在图像上直接选取相邻原子柱的强度峰位,计算其距离并利用标尺换算为实际尺寸。
几何相位分析:一种先进的图像处理技术,通过分析FFT中衍射斑点的相位信息,提取全场应变分布图。
峰值对寻找算法:使用计算机算法自动识别图像中所有原子柱的位置,构建原子点阵图进行统计分析。
像素-尺寸标定:利用已知晶格常数的标准样品(如硅)在同一成像条件下进行标定,确保测量准确性。
多帧平均与降噪处理:对同一区域连续采集多张图像进行对齐和平均,有效提升信噪比和测量精度。
像差校正与优化:使用球差校正器优化探针,获得更锐利的原子图像,减少测量中的系统误差。
原位实验同步测量:结合加热、通电或力学加载原位样品杆,动态监测晶格常数随外部条件的变化。
球差校正扫描透射电子显微镜:核心设备,提供亚埃级分辨率的HAADF-STEM图像,是进行原子级测量的基础。
高亮度场发射电子枪:如冷场发射或肖特基场发射枪,提供高亮度、高相干性的电子束源。
高角度环形暗场探测器:专门用于收集高角度散射电子的环形半导体探测器,产生原子序数衬度像。
双聚光镜系统与聚光镜光阑:用于将电子束会聚成亚纳米尺寸的探针,并控制探针的会聚角。
高性能CCD或直接电子探测器:用于记录HAADF信号,要求具有高动态范围、高灵敏度和低噪声。
样品纳米操纵器与双倾样品杆:实现样品的精确平移和倾转,以找到最佳的晶体学取向进行成像。
能谱仪
电子能量损失谱仪
原位实验样品杆
防震与环境控制系统
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