半导体车间化学过滤器效率试验

检测项目

总化学过滤效率：评估过滤器对混合化学污染物整体去除能力的综合性指标。

特定化学物质单程效率：针对如氨气、二氧化硫、臭氧等单一特定污染物，测试过滤器单次通过时的去除率。

穿透浓度检测：测量经过过滤器后，目标污染物在洁净空气中的残余浓度。

吸附容量测试：确定过滤器在达到穿透点前所能吸附的污染物总量，反映其使用寿命。

初始压降与风阻：测量洁净过滤器在额定风量下的空气阻力，是评估系统能耗的关键参数。

压降随容尘量变化曲线：监测过滤器在吸附污染物过程中，其空气阻力随使用时间或吸附量增加的变化趋势。

气体去除效率衰减测试：长期或加速试验下，监测过滤器效率随吸附量增加而下降的规律。

温湿度影响测试：考察环境温湿度变化对过滤器吸附性能与效率的潜在影响。

颗粒物协同过滤效率：评估化学过滤器在去除气态污染物的同时，对空气中细微颗粒物的附带过滤能力。

完整性检漏测试：检查过滤器本身及其安装框架是否存在泄漏，确保无未经过滤的空气旁通。

检测范围

酸性气体：如二氧化硫(SO2)、硫化氢(H2S)、氯化氢(HCl)、氮氧化物(NOx)等，主要来自外部空气和工艺排放。

碱性气体：如氨气(NH3)、胺类化合物等，常见于某些化学品存储区和工艺制程。

可凝性有机物：包括硅氧烷、邻苯二甲酸酯、溶剂蒸气等，可能从材料、人员或外部环境引入。

挥发性有机物：涵盖苯、甲苯、甲醛等多种低分子量有机化合物。

掺杂气体：如砷化氢(AsH3)、磷化氢(PH3)、硼烷(B2H6)等，用于离子注入等工艺，具有高毒性。

腐蚀性气体：如氯气(Cl2)、氟化氢(HF)等，可能对晶圆表面金属线路造成腐蚀。

臭氧：来自紫外光设备或高压放电，是强氧化剂，可能损害材料和器件。

分子级污染物：泛指所有可能沉积在晶圆表面并影响器件性能的微量气态化学物质。

掺杂剂与蚀刻副产物：特定工艺过程中产生或释放的各类特殊化学气体。

异味与交叉污染气体：确保车间内空气无异味，并防止不同工艺区域间的气体交叉污染。

检测方法

挑战气体测试法：向过滤器上游注入已知浓度的特定挑战气体，在下游测量浓度以计算效率。

在线质谱分析法：使用在线质谱仪实时监测过滤器上下游极低浓度（ppb至ppt级）的多种污染物。

傅里叶变换红外光谱法：利用FTIR同时定性、定量分析多种有机和无机气体污染物。

气相色谱法：对复杂有机物混合物进行高效分离和精确检测。

化学发光法：主要用于高灵敏度检测氮氧化物和臭氧等特定气体。

紫外荧光法：常用于检测二氧化硫等具有荧光特性的气体。

电化学传感器法：使用便携式传感器进行快速、实地的点检测，常用于检漏和日常监控。

重量分析法：通过测量吸附前后过滤器的重量变化来确定其吸附容量。

压差测量法：使用微压差计精确测量过滤器前后的静压差，计算风阻。

示踪气体衰减法：在密闭空间内释放示踪气体，通过其浓度衰减速率评估过滤器的整体净化能力。

检测仪器设备

气态污染物发生器：用于精确产生和输送已知浓度、流量和组成的挑战气体混合物。

在线气相色谱-质谱联用仪：用于痕量级复杂有机污染物的高精度定性与定量分析。

傅里叶变换红外光谱仪：用于实时、多组分的气体分析，特别适合工艺相关气体的监测。

高灵敏度化学分析仪：如化学发光分析仪、紫外荧光分析仪等，用于特定气体的高精度测量。

电化学气体传感器阵列：便携式或多通道设备，用于多种气体的快速检测和泄漏定位。

激光粒子计数器：用于评估过滤器对颗粒物的协同过滤性能。

精密微压差计：测量过滤器前后微小的压力差，精度可达0.1 Pa。

风量测量装置：如风速计、风量罩，用于确保测试在额定风量条件下进行。

温湿度传感器与记录仪：实时监测并记录测试环境的温度和相对湿度。

数据采集与控制系统：集成各类传感器信号，自动控制测试流程，并记录、处理和分析所有测试数据。

检测流程

1、咨询：提品资料(说明书、规格书等)

2、确认检测用途及项目要求

3、填写检测申请表(含公司信息及产品必要信息)

4、按要求寄送样品(部分可上门取样/检测)

5、收到样品，安排费用后进行样品检测

6、检测出相关数据，编写报告草件，确认信息是否无误

7、确认完毕后出具报告正式件

8、寄送报告原件