光束发散角θ:测量激光束在空间传播时的角度扩展,是评价光束方向性的核心参数。
光束腰斑半径ω₀:确定激光束最窄处的光斑尺寸,是计算发散角的基准。
瑞利长度Z_R:评估光束保持聚焦特性的传播距离,与发散角直接相关。
光束质量因子M²:定量表征实际光束与理想高斯光束的偏离程度,是综合评判光束质量的关键。
远场发散角:测量激光束在远离束腰位置(夫琅禾费区)的角半径。
近场光斑分布:分析激光器输出端或束腰附近的光强横向分布。
光束椭圆度:检测光束横截面在两个正交方向上的不对称性。
光束指向稳定性:评估激光束中心轴线随时间或环境变化的漂移角度。
功率/能量密度角分布:测量激光功率或能量随空间角度的分布情况。
像散系数:检测光束在相互垂直的子午面和弧矢面上束腰位置不重合导致的像差。
小角度测量:适用于发散角极小(如μrad级)的高准直激光束,如干涉仪用激光源。
常规发散角测量:针对常见mrad量级发散角的激光器,如多数固体和半导体激光器。
大发散角测量:适用于发散角较大(可达数十mrad或更高)的激光束,如某些LED泵浦或VCSEL光源。
连续波激光:针对输出功率稳定的连续工作模式激光器的发散角测量。
脉冲激光:测量单脉冲或高重频脉冲激光的发散角,需考虑峰值功率和脉冲宽度影响。
可见光与近红外波段:涵盖从400nm到1100nm常见波长的激光发散角测量。
中远红外波段:适用于CO2激光器(10.6μm)等中远红外激光的发散角测量。
弱光信号测量:能够检测低功率或低能量激光的微弱光斑信号。
高功率激光测量:通过衰减手段,安全测量高功率工业或科研激光器的发散角。
微光斑测量:针对光束腰斑尺寸在微米量级的聚焦激光束的发散角评估。
几何成像法:利用透镜对激光束成像,通过测量像面上不同位置的光斑尺寸计算发散角。
可变光阑法:通过改变圆形光阑孔径,测量通过的光功率,由功率-孔径曲线推导光束宽度和发散角。
移动刀口法:使用锋利的刀口横向扫描光束,通过光强变化曲线确定光束半径,进而计算发散角。
移动狭缝法:原理类似刀口法,用狭缝代替刀口进行扫描,适用于各向异性光束。
CCD/CMOS面阵探测器法:使用相机直接采集不同传播距离处的光斑图像,通过图像处理软件自动分析光斑尺寸并计算发散角和M²因子。
扫描针孔法:利用微小针孔在光束横截面上进行二维扫描,获得高空间分辨率的光强分布。
远场法:将探测器置于远离束腰(满足远场条件)的位置,直接测量光斑尺寸与距离的比值得到发散角。
双位置测量法:在光束传播路径上选取两个特定位置测量光斑半径,根据高斯光束公式反推束腰和发散角。
多位置拟合法:在多个(通常大于五个)传播距离上测量光斑半径,利用双曲线拟合公式精确计算光束参数。
傅里叶变换法:通过测量激光束的远场夫琅禾费衍射图样,分析其空间频谱来评估发散角。
光束质量分析仪:集成CCD相机、衰减片、中继透镜和正规软件的设备,可自动测量发散角、M²因子等全套参数。
科学级CCD/CMOS相机:高分辨率、高动态范围的面阵探测器,用于精确捕获光斑的二维强度分布图像。
光电位置传感器:如PSD或四象限探测器,用于高频率测量光束中心位置和指向稳定性。
可调衰减器组:用于将不同功率的激光衰减至探测器安全工作的动态范围内,避免饱和或损坏。
长行程精密平移台:用于精确移动探测器或被测激光器,以在不同传播距离上进行采样测量。
高质量消像差透镜:用于几何成像法或构建中继光路,其焦距已知且像差需尽量小。
精密旋转台:用于固定和微调光学元件或激光器的角度,确保光路准直。
功率/能量计:配合可变光阑法使用,测量通过不同孔径的光功率,或用于监测激光输出稳定性。
准直扩束系统:用于在测量前对高度发散的光束进行预准直,或产生标准平行光用于系统校准。
光学平台与隔振系统:提供稳定、防震的基准平面,用于搭建和固定所有光学元件,确保测量重复性。
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