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发布时间:2025-05-27
关键词:电子探针标准样品试验仪器,电子探针标准样品检测方法,电子探针标准样品检测标准
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来源:北京中科光析科学技术研究所
因业务调整,部分个人测试暂不接受委托,望见谅。
元素定性分析、元素定量分析、微区成分分布测试、线扫描分析、面扫描成像、氧化物含量测定、硫化物成分分析、金属间化合物鉴定、晶界偏析评估、夹杂物表征、镀层厚度测量、薄膜成分分析、矿物相鉴定、合金相组成测定、微量元素检测(ppm级)、主量元素误差校正、氧含量测定(非金属)、碳含量分析(轻元素)、稀土元素配分计算、同位素比值分析(特定条件)、表面污染检测、扩散层厚度评估、焊接界面成分分析、腐蚀产物鉴定、热处理相变研究、晶格常数计算(配合衍射)、电子产额校正验证、背散射电子成像解析、二次电子成像优化、X射线能谱校准
不锈钢合金板、铝合金铸件、钛基复合材料、高温合金叶片、地质薄片标本(橄榄岩/辉长岩)、陨石切片样本、半导体硅晶圆、LED外延层结构、太阳能电池镀膜层、PCB焊点界面层、磁性材料钕铁硼永磁体、硬质合金刀具涂层(TiN/TiCN)、锂离子电池正极材料(NCM/LFP)、核燃料包壳锆合金管材、考古青铜器腐蚀层、牙齿釉质剖面样本、人工关节钛合金表面改性层、光纤预制棒掺杂区域、OLED有机发光层堆叠结构、纳米多层薄膜(Al2O3/ZrO2)、超导材料YBCO相组成、月壤模拟物玻璃质包裹体、汽车尾气颗粒物采集样本、海洋沉积物微结核体、催化剂载体涂层(Pt/Al2O3)、石墨烯复合导电薄膜、形状记忆合金马氏体相区
波谱分析法(WDS):利用晶体分光原理分离特征X射线波长,通过罗兰圆几何聚焦实现高分辨率(~10eV)元素分析,适用于原子序数Z≥5元素的精确定量。
能谱分析法(EDS):采用半导体探测器直接接收X射线光子能量信号,通过多道脉冲高度分析实现快速全谱采集(0.1-20keV),适用于大面积成分普查及轻元素定性。
ZAF修正法:基于原子序数效应(Z)、吸收效应(A)和荧光效应(F)建立的三维数学模型,用于校正定量分析中的基体效应误差。
标样对比法:选用国际认证的标准物质(如NIST系列)建立强度-浓度校准曲线,要求标样与待测样在物理化学性质上严格匹配。
蒙特卡洛模拟法:通过电子轨迹模拟计算电子束与样品的相互作用体积,优化加速电压选择及空间分辨率控制。
ISO22309:2011微束分析-能谱法定量分析指南
ASTME1508-12电子探针波谱仪校准规程
GB/T15074-2008电子探针定量分析方法通则
JISK0133:2016电子探针显微分析通则
ISO17470:2014微束分析-EPMA-能谱法定性分析指南
ASTME1621-13电子探针波谱仪系统性能验证标准
GB/T21636-2008电子探针显微分析术语
ISO14594:2014微束分析-EPMA-波长色散谱仪参数测定方法
ASTME766-14SEM图像放大倍率校准规程
GB/T20724-2006微束分析薄晶体标样规范
波长色散型电子探针(EPMA-WDS):配备3-5道分光晶体系统(如LiF/TAP/STE),配备高精度真空系统(≤510⁻⁴Pa)和液氮冷阱装置。
场发射电子枪系统:采用热场发射源(Schottky型)或冷场发射源,束流稳定性≤0.5%/h。
全聚焦罗兰圆谱仪:配备PET(季戊四醇)晶体用于轻元素分析。
硅漂移探测器(SDD):能量分辨率≤125eV@MnKα。
背散射电子探测器:配置四象限固态探测器用于原子序数衬度成像。
阴极荧光光谱系统:集成单色器与PMT探测器用于发光材料表征。
动态聚焦系统:配备实时Z轴补偿机构保证倾斜样品表面聚焦一致性。
超高压真空锁室:配置多级涡轮分子泵组实现快速换样(<3min)。
低温样品台:配备液氮循环冷却系统实现-180℃低温测试环境。
三维移动样品台:重复定位精度≤0.1μm的压电陶瓷驱动平台。
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