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中科光析科学技术研究所
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发布时间:2025-05-08
关键词:氦检漏专业检测范围,氦检漏专业检测案例,氦检漏专业试验仪器
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来源:北京中科光析科学技术研究所
因业务调整,部分个人测试暂不接受委托,望见谅。
真空系统密封性检测:针对高/超高真空设备(如镀膜机、粒子加速器)进行整体密封性能评估,泄漏率要求通常≤1×10-9 Pa·m3/s
压力容器完整性验证:涵盖储气罐、反应釜等承压设备焊缝与法兰连接处的泄漏量测定
管道系统渗透率测试:适用于LNG输送管道、半导体特气输送管路等特殊介质管网的密封验证
精密部件微泄漏筛查:包括航天器燃料阀件、核级阀门等关键部件的出厂前全检
封装器件气密性认证:对IGBT模块、MEMS传感器等电子元器件的封装工艺质量进行判定
能源装备领域:核电站主泵机械密封、油气输送管线焊接接头、储氢罐体焊缝
航空航天工业:火箭推进剂贮箱、航空发动机燃油控制系统、航天器生命维持系统
电子制造行业:半导体工艺腔室、液晶面板蒸镀设备、高纯气体输送系统
汽车制造体系:新能源电池包壳体密封、燃料电池双极板组件、空调制冷回路
科研实验装置:同步辐射光源真空环、托卡马克装置真空室、低温超导磁体杜瓦
真空喷吹法(Vacuum Sniffer Method):
将被测件接入真空系统并抽至工作压力
使用氦气喷枪对可疑部位进行定点喷射
通过质谱仪实时监测氦分压变化曲线
适用于可建立真空环境的封闭系统检测
吸枪法(Sniffing Method):
向被测容器内部充注规定压力的氦氮混合气
使用高灵敏度吸枪沿外表面进行扫描探测
发现浓度异常区域时进行精确定位标记
适用于大型不可抽真空设备的现场检测
累积法(Accumulation Method):
将被测件置于密闭收集腔内充入氦气
通过时间积分测量泄漏到腔内的氦总量
可量化计算绝对泄漏率数值
多用于微小泄漏量的精密测量场景
氦质谱检漏仪(Helium Mass Spectrometer Leak Detector):
核心部件包含离子源、分析磁铁、法拉第杯检测器三级结构
典型灵敏度范围1×10-12至1×10-7 Pa·m3/s
需配备分子泵机组维持10-4 Pa级工作真空度
辅助抽气系统(Auxiliary Pumping System):
前级机械泵组:实现从大气压到10-1 Pa的粗抽过程
涡轮分子泵:建立高真空环境(≤5×10-3 Pa)的核心设备
冷阱装置:用于捕集油蒸气等干扰物质提高信噪比
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