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氦气真空检漏检测

发布时间:2025-05-08

关键词:氦气真空检漏检测周期,氦气真空检漏项检测报价,氦气真空检漏检测机构

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来源:北京中科光析科学技术研究所

文章简介:

氦气真空检漏检测是一种高精度密封性测试技术,广泛应用于航空航天、半导体制造、核工业等领域。该技术通过氦质谱分析仪捕捉示踪气体信号,可识别微米级泄漏点并量化泄漏率。核心检测要点包括系统真空度控制、氦气浓度梯度优化、背景干扰排除及数据校准验证,需严格遵循ASTME499、ISO20486等国际标准执行。
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因业务调整,部分个人测试暂不接受委托,望见谅。

检测项目

氦气真空检漏检测主要包含以下核心项目:密封性验证测试(通过氦气示踪法确认被测件是否存在泄漏)、泄漏率定量分析(计算单位时间内气体逸出量)、泄漏点定位(精确识别缺陷位置坐标)以及系统稳定性评估(监测真空环境波动对测试结果的影响)。其中泄漏率定量需满足10-9至10-12 Pa·m3/s的测量范围,定位精度应达到±1mm以内。

检测范围

本技术适用于以下领域: 1. 航空航天:燃料储罐、推进系统管路、舱体密封结构; 2. 半导体制造:真空镀膜机腔体、刻蚀设备反应室; 3. 能源行业:核反应堆冷却回路、LNG储运容器; 4. 医疗设备:MRI超导磁体杜瓦瓶、血液透析机密封组件; 5. 汽车工业:燃料电池电堆、新能源电池包壳体。

检测方法

主流检测方法包括: 1. 氦质谱检漏法:将被测件抽至10-3 Pa级真空后外喷氦气,通过质谱仪捕获穿透泄漏点的氦分子信号; 2. 真空箱法:将被测件置于充氦密闭箱内抽真空,直接测量箱内氦浓度变化; 3. 喷吹法:采用移动式氦枪对疑似区域扫描定位; 4. 累积法:在封闭空间内注入定量氦气后监测压力衰减速率。

检测仪器

关键设备配置如下: 1. 氦质谱检漏仪:分辨率需达10-12 mbar·L/s,配备四极杆质量分析器; 2. 高真空泵组:涡轮分子泵+干式旋片泵组合实现10-6 Pa极限真空; 3. 校准漏孔:NIST可溯源的标定漏率装置(1×10-8/10-10/10-12 Pa·m3/s三档); 4. 多通道数据采集系统:同步记录压力传感器(0-1000Torr)、温度传感器(-50~150℃)及质谱信号数据。

检测流程

1、咨询:提品资料(说明书、规格书等)

2、确认检测用途及项目要求

3、填写检测申请表(含公司信息及产品必要信息)

4、按要求寄送样品(部分可上门取样/检测)

5、收到样品,安排费用后进行样品检测

6、检测出相关数据,编写报告草件,确认信息是否无误

7、确认完毕后出具报告正式件

8、寄送报告原件

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