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电子探针X射线显微分析仪

   发布时间:2015-11-29 09:32      来源:中化所



即运用电子所形成的探测针(细电子束)作为X射线的激发源,来进行显微X射线光谱分析。基本原理是电子束经过电子光学系统如静电或电磁透镜聚焦到样品中约1平方微米的区域,样品经电子束的轰击,辐射出X射线;通过X射线谱仪,对待测元素X射线谱的波长和强度进行测量,逐点地定性和定量分析。通过电子扫描同步系统和电子显示,可使样品中各种组成的分布情况,以放大的图像直接显示于荧光屏上。因此,电子探针X射线显微分析仪是矿物研究工作中既能微观观察,又能同时分析微区成分的精密仪器。
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