压力传感器真空参考端分析

检测项目

参考腔真空度：测量传感器内部参考腔的绝对压力值，是评估参考端性能最核心的指标。

真空密封性（泄漏率）：评估参考腔与外界环境之间的密封性能，通常以单位时间内的压力上升量或标准漏率来表示。

长期稳定性：监测在长时间工作或储存条件下，参考腔真空度的漂移情况，反映传感器的寿命和可靠性。

温度系数：分析环境温度变化对参考腔真空度或传感器零点输出的影响程度。

内部放气率：测量参考腔内部材料（如金属、陶瓷、焊料等）在真空环境下释放气体的速率。

残余气体成分分析：定性或定量分析参考腔内残余气体的种类（如H2O、N2、O2、H2等），用于诊断泄漏源或放气源。

机械强度与耐压性：检验参考腔壳体、封接界面在承受外部压力或机械应力时的结构完整性。

封接工艺质量：评估采用激光焊、电子束焊、平行缝焊等工艺形成的真空密封接口的质量和一致性。

吸气剂性能：对于内置吸气剂的传感器，评估吸气剂的激活程度、吸气容量及对特定气体的吸附效率。

零点输出漂移：在恒定环境条件下，测量传感器电学输出信号相对于零压力基准的缓慢变化，其根源常与参考端变化相关。

检测范围

超高真空范围（≤10^-7 Pa）：适用于高性能MEMS绝压传感器或石英振梁式传感器的参考腔分析。

高真空范围（10^-1 ~ 10^-7 Pa）：涵盖多数工业级和部分高端绝压传感器参考腔的真空度检测需求。

中低真空范围（10^5 ~ 10^-1 Pa）：用于分析低精度绝压传感器或处于失效初期、发生微小泄漏的参考腔。

泄漏率范围（10^-3 ~ 10^-12 Pa·m³/s）：覆盖从严重泄漏到近乎完美密封的各种密封等级评估。

温度范围（-55°C ~ +150°C或更宽）：模拟传感器在实际应用中可能经历的环境温度极限，测试温度效应。

时间范围（数小时至数年）：涵盖从短期老化测试到长期寿命评估的不同时间尺度稳定性监测。

压力循环范围（全量程至破坏压力）