初始放气率测定:在试验开始时,测量真空呼吸阀在设定真空度下的初始气体泄漏速率,作为性能基准。
稳态放气率测定:在真空系统压力达到动态平衡后,测量呼吸阀的稳定放气率,评估其长期密封性能。
阀座密封面泄漏检测:专门针对阀瓣与阀座接触的密封面,检测其是否存在缺陷导致的气体泄漏。
阀体壳体泄漏检测:检查呼吸阀阀体铸造或焊接部位是否存在孔隙或裂缝引起的泄漏。
开启压力下的放气率:测量当真空压力达到阀门设定开启值时,阀门动作过程中的气体释放速率。
关闭压力下的放气率:测量阀门在关闭状态且系统压力低于开启压力时,其密封结构的泄漏率。
不同真空度下的放气率曲线:在从低真空到高真空的范围内,测量并绘制放气率随真空度变化的特性曲线。
材料放气率贡献评估:分析阀体、密封件等材料本身在真空下释放吸附气体的速率,区分其与泄漏的差异。
温度影响试验:在不同环境温度下进行放气率测试,评估温度变化对阀门密封性能和材料放气特性的影响。
循环寿命试验后的放气率:在模拟多次开启-关闭循环后,再次测量放气率,以验证阀门密封件的耐久性。
石油化工储罐呼吸阀:用于大型常压或低压储罐,防止罐内超压或真空,需检测其真空侧密封性。
制药行业无菌隔离器用呼吸阀:用于维持隔离器内部洁净环境,要求极高的密封性以防止污染。
食品工业发酵罐呼吸阀:在发酵过程中维持特定压力或真空环境,需保证其放气率符合工艺要求。
真空包装设备排气阀:用于在抽真空后密封包装,其极低的放气率是保证包装保质期的关键。
航空航天器环境控制系统阀门:在航天器舱内压力控制中使用的呼吸阀,对可靠性和密封性有极端要求。
实验室真空干燥设备用阀:用于真空烘箱、冻干机等设备,需要稳定的真空保持能力。
电力变压器储油柜呼吸阀:用于变压器油体积膨胀收缩时的呼吸,需防止空气和水分进入。
新能源电池生产真空干燥炉阀门:在电池电极干燥工艺中,确保炉内高真空度,对阀门放气率控制严格。
医疗器械灭菌柜通气阀:在灭菌后的真空干燥阶段,阀门需有效密封以保持真空,确保灭菌效果。
半导体制造工艺真空腔体部件:用于刻蚀、沉积等设备的真空腔体,要求部件的放气率极低,避免工艺污染。
累积法(定容法):将待测阀门连接到已知容积的真空腔体,隔离后测量腔体内压力随时间上升的速率,计算放气率。
流量计法:使用标准的漏孔或流量计作为参考,通过比较法直接测量从阀门泄漏或放出的气体流量。
氦质谱检漏法:使用氦气作为示踪气体,在阀门外侧施氦,用氦质谱检漏仪在真空侧检测,精确定位并量化泄漏。
静态升压法:对已抽真空并隔离的测试系统(含阀门)进行长时间压力监测,绘制压力-时间曲线,计算总放气率。
差压法:使用高精度的差压传感器,测量阀门两侧在稳定真空下的微小压力差,进而推算气体通过率。
示踪气体 sniffing 法:在阀门真空侧充入示踪气体(如氦气),在阀门的大气侧使用嗅探探头检测是否有气体逸出。
四极杆质谱分析法(QMS):连接质谱仪,不仅测量总放气率,还能分析放出气体的成分(如H2O, N2, O2, CO2等)。
标准漏孔比对法:使用一个已知漏率的标准化漏孔进行校准和比对,从而确定被测阀门的等效标准漏率。
压力衰减法:向阀门一侧充入一定压力的气体,关闭气源后,监测该侧压力的下降速率,评估泄漏和放气。
长时间烘烤抽气后测试法:为了区分“泄漏”和“材料放气”,对阀门进行高温烘烤并长时间抽气,减少材料放气贡献后再进行测量。
高精度真空计:如电容薄膜规(CDG),用于精确测量测试腔体内的绝对压力,范围通常从大气压到10^-5 Pa。
氦质谱检漏仪:检测微小泄漏的核心设备,灵敏度极高,可检测至10^-12 Pa·m³/s量级的漏率。
标准漏孔:已知恒定漏率的参考器件,用于校准检漏仪和作为比对测量的基准。
累积测试腔体:一个内壁光洁、材料放气率低、容积经过精确标定的不锈钢或玻璃真空腔室。
高真空抽气系统:通常由分子泵、旋片泵或干泵组成,用于在测试前将系统和阀门抽至高真空状态。
四极杆质谱仪(QMS):连接在真空系统上,用于残余气体分析,识别放气成分。
恒温箱:用于进行温度影响试验,提供稳定且可控的环境温度条件。
数据采集系统:自动记录压力、温度、时间等参数,并绘制曲线,提高测试精度和效率。
精密阀门与管路:用于连接被测件、腔体和泵组的高密封性真空阀门(如角阀、挡板阀)和管路。
压力传感器与变送器:包括绝压和差压传感器,用于压力衰减法或差压法中的压力变化监测。
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