真空密封性保压测试

检测项目

整体泄漏率：测量被测件在单位时间内的总体气体泄漏量，是评价密封性能的核心指标。

密封材料渗透性：评估密封材料本身对特定气体（如氦气）的渗透特性，确定材料固有泄漏。

焊缝密封性：专门针对焊接接缝进行检测，识别焊缝中的气孔、裂纹等缺陷导致的泄漏。

法兰连接密封性：检测法兰面、垫片及紧固件组成的连接系统的密封可靠性。

螺纹接口密封性：评估螺纹拧紧后，螺纹副及密封胶/生料带形成的密封效果。

阀门启闭密封性：测试阀门在关闭状态下，阀芯与阀座之间的密封性能，确保无内漏。

观察窗/视镜密封性：检测玻璃或透明材料与金属框架之间密封结构的完整性。

馈通件（电气/流体）密封性：评估电缆接头、波导、流体管道等穿过腔体壁部件的密封可靠性。

壳体整体强度与变形：在保压状态下，监测壳体是否发生塑性变形或破裂，评估结构强度。

压力衰减速率：记录在保压阶段单位时间内压力的下降值，直接反映系统的泄漏程度。

检测范围

真空镀膜设备腔体：确保工艺腔室在高真空环境下能维持所需的极限真空度和抽气速率。

半导体工艺设备：如CVD、PVD、刻蚀机等反应腔室，防止气体交叉污染，保证工艺纯度。

航天器密封舱与部件：检测飞船、卫星的乘员舱、燃料储箱等在太空极端环境下的密封可靠性。

汽车燃油系统与蒸发排放系统：检测油箱、油管、碳罐等部件的密封性，满足环保法规要求。

医疗无菌包装：测试药品、医疗器械的泡罩包装、无菌袋等，确保其阻隔细菌和气体的能力。

锂离子电池外壳：检测电池铝塑膜或金属壳体的密封性，防止电解液泄漏和水分侵入。

空调与制冷系统：检测压缩机、冷凝器、蒸发器及连接管路，确保制冷剂不泄漏。

食品包装容器：如罐头、真空包装袋、气调包装，测试其阻氧、防漏气性能以延长保质期。

工业管道与压力容器：在制造和安装后，验证其承压和密封能力，确保安全生产。

军用光电设备：检测潜望镜、红外镜头等充氮防水密封部件的长期密封可靠性。

检测方法

压力衰减法：向被测件充入一定压力气体，保压后监测压力下降值，计算泄漏率，应用最广泛。

真空衰减法：将被测件抽真空后隔离，监测其内部压力上升速率，适用于包装和密闭容器。

氦质谱检漏法：使用氦气作为示踪气体，利用氦质谱检漏仪极高灵敏度定位和定量微小泄漏。

气泡检漏法（水检法）：将被测件浸入水中或涂刷检漏液，观察是否有气泡产生，用于粗漏检测。

差压比较法：将被测件与一个密封的标准件同时加压，比较两者间的压力差变化，精度高。

累积检漏法：将被测件置于密闭收集腔内，泄漏出的气体在腔内累积，提高检测灵敏度。

示踪气体嗅探法：在被测件内部充入示踪气体（如氦气、卤素），在外部用探头扫描寻找泄漏点。

超声波检漏法：检测气体通过泄漏孔时产生的超声波信号，可用于在线、非接触检测。

质谱累积检漏法：将被测件置于真空箱中，箱体连接质谱仪，测量累积的示踪气体总量。

保压时间测试法：在规定压力下保持一段预设时间，检查压力是否维持在可接受阈值内，属于判定性测试。

检测仪器设备

氦质谱检漏仪：高灵敏度检漏的核心设备，通过检测氦离子流来定量泄漏率，可达10-12 Pa·m³/s量级。

压力衰减检漏仪：集成高精度压力传感器、控制阀和数据记录系统，自动进行充气、保压、测试和判断。

真空箱式检漏系统：包含真空箱、抽气系统、氦质谱仪和充氦装置，用于对整体工件进行高灵敏度累积检漏。

差压检漏仪：内置高分辨率差压传感器，通过比较被测件与参考腔的压力差来检测微小泄漏。

精密压力传感器/变送器：用于实时监测和记录测试过程中的绝对压力或差压变化。

真空泵组：包括粗抽泵和分子泵等，用于为测试系统或被检件抽取真空，创造测试条件。

充气装置与气源：提供干燥、洁净的测试气体（如氮气、空气或氦气混合气）并精确控制充气压力。

数据采集与控制系统：工控机或PLC系统，用于控制测试流程、采集传感器数据并生成测试报告。

水检槽或气泡检漏液：用于进行直观的气泡法检漏，设备简单，适用于允许接触水的工件。

超声波检漏仪：通过高频麦克风捕捉泄漏产生的超声波，并将其转换为人耳可闻的声音或数字信号进行定位。

检测流程

1、咨询：提品资料(说明书、规格书等)

2、确认检测用途及项目要求

3、填写检测申请表(含公司信息及产品必要信息)

4、按要求寄送样品(部分可上门取样/检测)

5、收到样品，安排费用后进行样品检测

6、检测出相关数据，编写报告草件，确认信息是否无误

7、确认完毕后出具报告正式件

8、寄送报告原件