真空密封性能氦质谱检漏试验

检测项目

总漏率检测：测定被测件在特定压力下的整体漏气速率，是评价其密封性能的核心指标。

局部漏点定位：使用喷氦法或吸枪法精确找出密封薄弱或存在缺陷的具体位置。

漏孔等效标准漏率：将实际漏孔换算成标准条件（氦气，20°C，1atm压差）下的漏率，便于统一比较。

密封材料渗透率评估：评估非金属密封材料（如橡胶、塑料）对氦气的固有渗透特性。

真空系统本底检漏：在抽真空过程中，检测并排除真空系统自身存在的微小泄漏。

压力变化验证：在检漏前后进行压力保持或压力变化测试，辅助验证密封的宏观有效性。

多通道同时检漏：针对复杂系统，可同时对多个独立腔体或部件进行泄漏监测。

累积检漏测试：将被测件置于氦气环境中一段时间后，检测其内部累积的氦气量，适用于微小漏孔。

真空烘烤后检漏：评估被测件在经过高温烘烤除气工艺后，其密封性能是否发生变化或破坏。

循环寿命测试后的密封性：在经历温度循环、振动、冲击等环境试验后，复检其密封性能是否衰减。

检测范围

高真空及超高真空设备：如粒子加速器、空间环境模拟舱、分子束外延设备等核心腔体。

航空航天部件：包括航天器推进剂贮箱、生命保障系统、舱门密封、航空发动机燃油控制系统等。

半导体制造设备：应用于刻蚀机、PVD/CVD镀膜机、光刻机等设备的真空反应室和气体管路。

低温超导系统：如超导磁体杜瓦、低温泵、液氦输送管线等需要极佳绝热真空的装置。

核工业设备：核燃料元件包壳、核反应堆压力边界部件、放射性物质密封容器等。

电力行业设备：如SF6高压断路器、变压器、高压电缆终端头的密封性能检测。

医疗器械：心脏起搏器、植入式药物泵、血液分析仪等需要长期密封的精密医疗器件。

汽车行业部件：新能源车电池包壳体、燃料电池堆、空调系统、安全气囊气体发生器等。

军用及特种封装：武器系统光电组件、水下设备壳体、保密通信元器件的密封封装。

科学研究装置：同步辐射光束线、托卡马克装置真空室、精密测量仪器的真空样品室等。

检测方法

喷氦法（动态检漏）：向被测件外部可疑点喷吹氦气，内部抽真空并用质谱仪探测，用于精确定位漏点。

吸枪法（真空罩法）：将被测件充氦后置于真空罩内，用吸枪在罩内扫描或整体测量，用于总漏率测量和定位。

氦罩法（累积法）：将被测件置于充满氦气的密闭罩内一段时间，然后快速抽真空并测量内部氦气浓度。

真空法（内检法）：将被测件内部抽真空，外部用氦气喷吹或包围，是最直接、最常用的标准方法。

正压法（充压法）：将被测件内部充入高于大气压的氦气，外部用吸枪或质谱仪探头探测逸出的氦气。

背压法（ bombing ）：将被测件置于高压氦气环境中浸泡数小时，取出清洁表面后放入真空箱检测逸出的氦气。

检漏盒法：对于大型容器或平面焊缝，使用带有抽气口和探测口的专用检漏盒进行局部密封检测。

标准漏孔校准法：使用已知漏率的标准化漏孔对检漏系统进行校准，确保测量结果的准确性和溯源性。

本底扣除与净漏率计算：在检测中实时监测系统本底信号，从总信号中扣除本底以获得真实的泄漏信号。

最小可检漏率评估：根据仪器灵敏度、本底噪声和检测条件，评估该系统能够可靠检测到的最小泄漏量。

检测仪器设备

氦质谱检漏仪：核心设备，利用磁场将氦离子分离并检测，具有极高的选择性和灵敏度。

标准漏孔：提供已知且稳定的氦气漏率，用于校准检漏仪的灵敏度和测量准确性。

检漏真空系统：包括机械泵、分子泵等，为被测件和检漏仪提供所需的工作真空环境。

喷枪与氦气瓶：喷枪用于定向喷吹氦气，氦气瓶提供高纯度（通常99.999%以上）的示踪气体。

吸枪（探头）：用于在正压法或局部扫描时，采集被测件表面逸出的氦气并送入检漏仪。

真空密封罩与累积箱：用于氦罩法和吸枪法，为被测件提供一个可抽真空或充氦的密闭测试空间。

真空计与压力传感器：用于实时监测被测件和检漏系统各部分的真空度或压力。

阀门与管道系统：包括高真空阀门、波纹管、法兰等，用于连接被测件、泵组和检漏仪，构成检测回路。

电气控制与数据采集系统：控制泵、阀门的启停和顺序，并采集、记录、处理检漏仪输出的信号数据。

辅助工装与夹具：根据被测件形状特制的过渡法兰、密封接头、支撑架等，确保可靠连接与密封。

检测流程

1、咨询：提品资料(说明书、规格书等)

2、确认检测用途及项目要求

3、填写检测申请表(含公司信息及产品必要信息)

4、按要求寄送样品(部分可上门取样/检测)

5、收到样品，安排费用后进行样品检测

6、检测出相关数据，编写报告草件，确认信息是否无误

7、确认完毕后出具报告正式件

8、寄送报告原件