电子探针分析测试

检测项目

元素定性分析：识别样品微区内存在的所有原子序数大于等于4（铍）的元素。

元素定量分析：精确测定微区内各元素的重量百分比或原子百分比。

线扫描分析：沿预设直线连续测量元素浓度变化，揭示元素沿某一方向的分布趋势。

面分布分析：获取特定元素在选定二维区域内的浓度分布图像，直观显示元素偏析、相分布等。

相组成鉴定：结合背散射电子像形貌与微区成分，对材料中的不同相进行鉴别。

元素价态分析（结合WDS）：利用波长色散谱仪的高分辨率，通过X射线谱峰位移初步判断部分元素的化学态。

扩散剖面分析：精确测定跨界面或反应层的元素浓度梯度，用于研究扩散动力学。

包裹体成分分析：对地质矿物或材料中的微小包裹体进行原位成分测定。

薄膜厚度与成分分析：测量薄膜涂层的厚度（需标样）并分析其成分。

非金属元素分析：对碳、氧、氮等轻元素进行定量分析（需特殊条件与标样）。

检测范围

金属与合金：分析合金相、夹杂物、析出相、腐蚀产物、焊接区的成分。

地质矿物与岩石：鉴定矿物种类、测定主量与微量元素含量、研究矿物环带结构。

陶瓷与耐火材料：分析晶界成分、相分布、烧结过程中的元素迁移。

半导体材料：检测掺杂元素分布、缺陷成分、薄膜层结构及界面扩散。

考古与艺术品：对古陶瓷、金属文物、颜料等进行无损或微损成分分析，用于断源与鉴别。

环境颗粒物：分析大气粉尘、悬浮颗粒的单颗粒化学成分与来源。

生物矿物与硬组织：如牙齿、骨骼、贝壳等生物矿化材料的微区成分研究。

核材料与辐照样品：分析核燃料、包壳材料等经辐照后的元素迁移与相变。

失效分析：对电子元器件断裂面、腐蚀点、污染区域进行微区成分溯源。

新型功能材料：如电池电极材料、热电材料、涂层材料的成分与分布表征。

检测方法

点分析：将电子束固定于样品待测点，采集X射线谱进行定性和定量分析。

波长色散谱法：利用分光晶体对特征X射线进行色散，具有极高的波长分辨率和峰背比，适合微量、轻元素及重叠峰分辨。

能量色散谱法：利用半导体探测器直接接收并分辨X射线能量，可同时快速采集所有元素信号，但分辨率较低。

背散射电子成像：利用BSE信号强度与原子序数相关的特性，获得成分衬度图像，区分不同物相。

二次电子成像：利用SE信号获得样品表面超微形貌信息，辅助定位分析区域。

吸收电流成像：利用样品吸收电流成像，对半导体和绝缘体材料的电学性质差异敏感。

阴极发光成像：收集电子束激发下样品产生的可见光-红外光，用于研究矿物、半导体中的缺陷和杂质分布。

标准样品校准法：定量分析必须使用与待测样品成分相近的标准样品进行仪器灵敏度的校准。

ZAF修正法：最常用的定量修正方法，校正原子序数效应、吸收效应和荧光效应对X射线强度的影响。

Phi-Rho-Z修正法：一种更先进的定量修正模型，尤其适用于多层膜、倾斜样品等复杂情况。

检测仪器设备

电子光学柱：包括电子枪、电磁透镜系统，用于产生并聚焦高能电子束探针。

波长色散谱仪：核心部件，包含分光晶体、X射线探测器和精密机械传动机构，用于高精度X射线分光检测。

能量色散谱仪：通常配备Si(Li)或硅漂移探测器，用于快速多元素同步分析。

超高真空系统：为电子束路径和X射线探测提供无干扰的高真空环境，防止样品污染和气体电离。

样品室与样品台

背散射电子探测器：通常为固态环形探测器，用于接收BSE信号并形成成分衬度图像。

二次电子探测器：如Everhart-Thornley探测器，用于接收SE信号并形成表面形貌像。

光学显微镜系统

计算机控制系统与软件

标准样品套装

检测流程

1、咨询：提品资料(说明书、规格书等)

2、确认检测用途及项目要求

3、填写检测申请表(含公司信息及产品必要信息)

4、按要求寄送样品(部分可上门取样/检测)

5、收到样品，安排费用后进行样品检测

6、检测出相关数据，编写报告草件，确认信息是否无误

7、确认完毕后出具报告正式件

8、寄送报告原件