光束发散角:衡量激光束在传播过程中发散程度的物理量,是评估光束方向性和远场能量集中度的关键参数。
光束直径(束腰):指激光束最窄处的横向尺寸,通常定义为光强下降到中心最大光强的1/e²处的宽度,是描述光束空间尺度的基础。
M²因子(光束质量因子):定量描述实际激光光束与理想基模高斯光束偏差程度的无量纲参数,是评价光束质量的核心指标,值越接近1表示质量越好。
光束参数乘积(BPP):定义为光束束腰半径与远场发散半角的乘积,是一个在光束传输变换中保持不变的量,常用于工业激光器质量评定。
光斑强度分布:描述激光束横截面上光强随空间位置的变化情况,直接反映了光束的能量分布均匀性。
光束椭圆度:表征激光光斑横截面偏离圆形的程度,对于需要圆形对称光斑的应用(如光纤耦合)至关重要。
光束指向稳定性:测量激光光束中心轴线随时间或环境条件变化的偏移量,影响加工精度和系统长期可靠性。
波前像差:分析实际激光波前与理想球面波或平面波的偏差,常用泽尼克多项式分解,与聚焦能力密切相关。
光束偏振态:检测激光电矢量的振动方向,包括线偏振、圆偏振、椭圆偏振等,对于材料加工、非线性光学等应用非常重要。
近场与远场分布:分别测量激光器输出端面附近和经过长距离传播(或经透镜聚焦于焦平面)的光束剖面,以全面评估光束特性。
连续波(CW)激光器:对输出功率稳定的连续激光进行光束质量分析,适用于光纤激光器、固体激光器等。
脉冲激光器:包括纳秒、皮秒、飞秒脉冲激光,需测量其单脉冲或平均光束质量,分析峰值功率下的光束特性。
单模与多模激光束:评估基模高斯光束的质量因子,以及多模光束的混合模式构成与能量分布。
可见光至红外波段激光:覆盖从常见可见光(如532nm)到近红外(1064nm)、中红外(如10.6μm CO2激光)等不同波长的激光光源。
高功率工业激光:针对千瓦级乃至万瓦级的高功率切割、焊接激光,进行安全、可靠的光束诊断与监控。
低功率及精密测量激光:用于干涉仪、准直、共聚焦显微镜等领域的低功率、高光束质量激光的精细表征。
光纤输出激光:对从光纤端面输出的激光光束进行质量评估,特别是光纤激光器和经过光纤传输后的光束。
自由空间光通信光束:分析用于大气或空间光通信的激光束在传输前后的质量变化,评估通信链路性能。
激光加工头出口光束:在激光加工设备(如切割头、焊接头)的最终输出位置测量光束,评估整个光学传输系统的效果。
超快激光与复杂光束:包括涡旋光束、贝塞尔光束等具有特殊相位和强度分布的结构化光场分析。
扫描针孔法:使用微小针孔在光束横截面内进行二维扫描,通过探测器记录光强,重建光斑轮廓,精度高但速度慢。
刀口扫描法:利用锋利的刀口边缘扫描光束,通过测量被遮挡的光功率随刀口位置的微分变化来推算光束宽度和位置。
CCD/CMOS相机面阵分析法:最直接常用的方法,将衰减后的光束直接成像于面阵传感器上,一次性获取完整二维光强分布,速度快。
可变孔径法:通过改变圆形孔径的直径并测量通过的光功率,拟合出光束直径,方法简单但信息量有限。
移动狭缝法:原理类似刀口法,但使用狭缝进行扫描,适用于高功率激光测量,可减少局部热效应。
傅里叶变换法:通过测量透镜焦平面(远场)的光强分布,并结合近场测量,计算得到M²因子等参数。
波前传感法:使用夏克-哈特曼波前传感器或干涉仪直接测量光束的相位分布,从而分析波前像差和光束质量。
二次谐波法:主要用于测量超短脉冲激光的光束质量,通过非线性晶体产生二次谐波来间接分析。
ISO 1JianCe6系列标准方法:国际标准化组织制定的激光束宽度、发散角和M²因子测量的标准方法,具有权威性和可比性。
衰减与采样法:针对高功率激光,必须采用合适的衰减器(如反射式、漫射式)和采样装置(如楔形镜分光),确保测量安全且不损伤设备。
光束质量分析仪:集成CCD/CMOS相机、衰减系统、控制软件的专用仪器,可一键式测量M²、光斑分布、发散角等多种参数。
科学级CCD/CMOS相机:高分辨率、高动态范围、低噪声的面阵相机,是光束剖面分析的核心传感器。
扫描式光束诊断系统:包含精密移动平台、针孔/刀口/狭缝扫描头以及光电探测器的系统,适用于高功率和高精度测量。
夏克-哈特曼波前传感器:由微透镜阵列和面阵探测器组成,能同时测量光强和波前相位分布,分析像差。
迈克尔逊或菲索式干涉仪:用于高精度测量激光波前,通过分析干涉条纹获得详细的相位信息。
衰减器组:包括固定衰减片、连续可变衰减器、反射衰减镜等,用于将激光功率安全降低至探测器动态范围内。
准直与聚焦透镜组:用于构建标准化的测量光路,例如根据ISO标准测量M²因子所需的焦距已知的透镜。
精密三维调整架与光学平台:用于精确固定和调整被测激光器、光学元件及探测器的位置,确保光路准直。
功率/能量计:配合光束诊断使用,用于校准或监测测量过程中的激光总功率或单脉冲能量。
偏振分析仪:由偏振片、波片和探测器组成,用于确定激光光束的偏振态和偏振度。
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