微泄漏量氦质谱检测

检测项目

密封容器整体漏率：测量被测件在特定压力下的总泄漏速率，评估其整体密封完整性。

焊缝与连接处泄漏定位：对焊接缝、法兰连接、螺纹接口等关键部位进行扫描，精确定位泄漏点。

材料本体渗透率测试：评估非金属材料（如橡胶、塑料）对氦气的固有渗透特性。

密封元器件筛选：对批量生产的密封继电器、传感器、连接器等元器件进行快速漏率筛选与分级。

真空系统漏孔检测：查找和维护真空腔体、管道、阀门等真空系统中的微小漏孔。

封装器件内部水汽含量间接评估：通过检测封装腔体的泄漏情况，间接推断内部水汽含量是否超标。

压力容器周期性校验：对高压气瓶、储罐等压力容器进行定期的密封性校验与安全评估。

航空航天部件检漏：对航天器的燃料储箱、生命保障系统、舱体结构等进行极高要求的泄漏检测。

医疗器械包装密封性：确保无菌医疗器械的包装（如泡罩、特卫强袋）具有长期可靠的密封性。

新能源汽车电池包密封性：检测电动汽车电池包外壳的密封性能，防止水汽、灰尘侵入，保障安全。

检测范围

航空航天领域：卫星推进系统、宇航服、空间站舱体、航空发动机燃油系统等。

半导体与电子工业：芯片封装、MEMS器件、真空镀膜设备、液晶面板生产线等。

汽车制造行业：汽车空调系统、安全气囊气体发生器、发动机燃油管路、车灯总成等。

电力能源领域：核电站冷却系统、高压SF6断路器、燃料电池电堆、变压器密封等。

医疗器械与制药：心脏起搏器、人工关节包装、输液袋、无菌注射器、冻干粉针剂西林瓶等。

科研与高能物理：粒子加速器真空管道、同步辐射光束线、低温超导系统、激光器腔体等。

化工与过程工业：危险化学品储罐、反应釜、高温高压管道阀门、特种气体输送系统等。

家用电器行业：高端冰箱制冷管路、空调换热器、咖啡机蒸汽系统、净水器滤芯等。

军工与国防：导弹燃料舱、潜艇通海阀件、光学观瞄设备充氮腔体、通信设备防水外壳等。

食品包装行业：利乐包、易拉罐、真空保鲜袋、充氮咖啡包等包装的微泄漏检测。

检测方法

真空法（喷氦法）：将被测件抽真空，在外部用氦气喷吹可疑部位，若有漏孔，氦气会被吸入并由质谱仪检测。

吸枪法（正压法）：将被测件内部充入一定压力的氦气，在外部用吸枪探头扫描，收集泄漏出的氦气进行检测。

累积检漏法（罩盒法）：将被测件充氦后置于密闭罩盒内，经过一段时间的累积，检测罩盒内氦气浓度以计算漏率。

背压法（ bombing ）：将被测件置于高压氦气环境中一段时间，取出后清洗表面，再放入真空腔JianCe测释放出的氦气。

真空箱法：将被测件放入可抽真空的密封箱中，向工件充氦，检测真空箱内氦气浓度上升速率。

检漏盒法（局部真空法）：对于大型不可抽真空容器，使用局部检漏盒在待测部位形成临时真空腔进行喷氦检测。

标准漏孔校准法：使用已知漏率的氦标准漏孔对检漏系统进行校准，确保测量结果的准确性与溯源性。

氦质谱峰-峰检测法：一种快速响应方法，通过监测质谱仪输出信号的峰值变化来快速定位泄漏点。

静态压力变化法（辅助方法）：在进行氦检前，先用压力衰减法进行粗检，排除大漏，提高氦检效率。

示踪气体混合法：根据工况需要，将氦气与其他气体（如氢氮混合气）按比例混合作为示踪气体进行检测。

检测仪器设备

氦质谱检漏仪主机：核心设备，包含离子源、质量分析器、离子收集器与放大器，用于识别和测量氦离子流。

机械真空泵（前级泵）：为检漏仪和被检系统提供初步的真空环境，通常为旋片式或涡旋式干泵。

分子泵或扩散泵（高真空泵）：与机械泵串联，在检漏仪内部创造并维持所需的高真空工作环境。

标准氦漏孔：已知精确漏率的校准器件，用于定期校准检漏仪的灵敏度和测量准确性。

检漏专用真空系统：包括真空腔室、管道、阀门、规管等，用于构建适合不同检测方法的真空环境。

喷枪与氦气源：用于喷氦法，提供稳定可控的氦气流，通常使用高纯度（99.999%以上）瓶装氦气。

吸枪探头与采样系统：用于吸枪法，通过细长的采样探头吸入气体，并输送至检漏仪进行分析。

累积罩盒或真空箱：根据检测方法需要，用于包裹或容纳被测件的密封腔体，材质需对氦气渗透率极低。

压力与流量控制装置：包括精密压力调节阀、流量计、压力传感器等，用于精确控制充氦压力与流量。

数据采集与处理系统：集成计算机与专用软件，用于控制仪器运行、实时显示漏率曲线、存储数据并生成报告。

检测流程

1、咨询：提品资料(说明书、规格书等)

2、确认检测用途及项目要求

3、填写检测申请表(含公司信息及产品必要信息)

4、按要求寄送样品(部分可上门取样/检测)

5、收到样品，安排费用后进行样品检测

6、检测出相关数据，编写报告草件，确认信息是否无误

7、确认完毕后出具报告正式件

8、寄送报告原件