气密性高压氦检漏测试

检测项目

静态升压法测试：将被测容器抽真空后封闭，监测内部压力随时间的变化率。通过计算单位时间内的压力升高值来评估总漏率。

氦质谱吸枪法测试：使用吸枪探头在充有氦气的被测件外部进行扫描。质谱仪实时检测吸入的氦气浓度，从而精确定位泄漏点的位置。

真空罩法测试：将充有氦气的被测件置于密闭真空罩内。通过连接在罩体上的质谱仪检测从工件泄漏至罩内的氦气，计算整体漏率。

压力累积法测试：对密闭的被测系统充入高压氦气，经过特定时间后检测累积在外部密闭腔体内的氦气分压。该方法适用于微小漏率的精确测量。

背压法测试：先将工件置于高压氦气环境中浸泡，使其吸入氦气。然后将工件放入真空容器，通过质谱仪检测释放出的氦气量以评估泄漏情况。

示踪气体浓度监测测试：在流体系统中循环含有特定浓度氦气的介质。通过在线传感器持续监测系统中关键点的氦气浓度变化，判断密封性能。

高压氦气循环疲劳测试：对工件施加交变的高压氦气载荷，模拟实际工况下的压力循环。通过监测特定周期后的泄漏率变化，评估其密封耐久性。

高温高压联合测试：将工件置于高温环境中同时施加高压氦气。考察材料热膨胀与压力共同作用对密封结构的影响，评估极端工况下的密封可靠性。

泄漏点精确定位测试：在工件内部充入一定压力的氦气，使用高灵敏度的质谱吸枪对其外表面进行系统性扫描。通过信号峰值确定泄漏源的精确坐标。

密封件渗透率测试：针对高分子材料或特殊涂层等非金属密封件，测量氦气在特定压差和温度条件下通过材料本体扩散的速率。评估材料的阻隔性能。

系统整体密封性评估测试：对由多个部件组装而成的复杂系统进行整体充压测试。通过测量系统在一定时间内压力降或累积泄漏量，综合评价其集成密封效果。

检测范围

航空航天发动机燃料管路：检测航空发动机高压燃料输送管路的焊缝与连接处的密封性能。确保在极端压力下无燃料泄漏，保障飞行安全。

核电站一回路压力边界组件：应用于核电站反应堆压力容器、主管道及阀门的密封性验证。防止放射性物质外泄，是核安全的关键环节。

医用植入体封装外壳：用于起搏器、神经刺激器等长期植入人体的电子设备的外壳密封测试。确保体液无法渗入，保护内部精密电路。

高真空设备腔体与连接件：针对粒子加速器、半导体镀膜设备等高真空系统的腔体壁板、法兰及馈通件进行检漏。维持设备所需的超高真空度。

新能源汽车燃料电池电堆：检测氢燃料电池电堆中双极板、膜电极之间的密封完整性。防止氢气与氧气互窜，保证发电效率与安全。

深潜器耐压舱体与观察窗：对深海潜水器的载人舱体焊缝、舱门及高强度玻璃观察窗进行高压检漏。确保其在深水高压环境下的结构密封安全。

高压储氢罐体与阀门：用于车载或固定式高压储氢容器的本体及其附件的泄漏测试。氢气分子小，需极高密封性以防止渗漏和爆炸风险。

半导体工艺设备气体面板：检测晶圆制造过程中输送高纯度特种气体的阀门、接头和管路的泄漏率。极微量的泄漏也会污染工艺过程。

电力行业高压气体绝缘开关设备：对采用六氟化硫等气体绝缘的高压开关柜、断路器的密封系统进行检测。维持绝缘气体压力，确保设备可靠分合闸。

石油化工高温高压反应釜：应用于化工生产中带有搅拌装置的高压反应釜的釜盖密封、进料口等部位的检漏。防止有毒有害介质在高压下泄漏。

检测标准

ASTM E499/E499M - JianCe Test Method for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Detector Probe Mode

ASTM E493/E493M - JianCe Test Methods for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Inside-Out Testing Mode

ISO 20485 - Non-destructive testing - Leak testing - Tracer gas method

ISO 3530 - Vacuum technology - Mass-spectrometer-type leak-detector calibration

GB/T 11813 - 核燃料组件氦质谱检漏方法

GB/T 12604.7 - 无损检测术语 泄漏检测

GB/T 34632 - 真空技术 氦质谱检漏方法

MIL-STD-750-4 - Test Methods for Semiconductor Devices Method 1071.8 Hermeticity

EJ/T 1096-1999 - 放射性物质运输容器密封性检验方法

HB 5830.14-1996 - 机载设备环境条件与试验方法 泄漏试验

检测仪器

氦质谱检漏仪：核心检测设备，采用磁偏转或四极杆质谱技术，能够选择性检测极低浓度的氦气分子。其功能是作为高灵敏度的传感器，精确测量并量化泄漏率。

机械真空泵组：由前级泵和罗茨泵等组成，用于对被检系统或检漏仪本身抽取真空，建立必要的压力差环境。其功能是为氦气的流动和检测创造前提条件。

高精度压力传感器与控制器：用于实时监测和控制被测工件内部的氦气压力，确保测试压力精确稳定在设定值。其功能是保证测试工况的准确性与重复性。

吸枪探头与采样系统：一种带有细小孔径的手持式或自动扫描探头，通过软管连接到检漏仪。其功能是高效采集被测部位附近的气体样本并输送至检漏仪进行分析。

专用真空检漏室与夹具：根据工件形状定制的密闭腔室和密封夹具，用于包裹工件形成检测空间。其功能是实现真空罩法或背压法测试，适用于复杂形状工件的整体检漏。

数据采集与处理系统：集成传感器信号输入、仪器控制指令输出和数据分析软件的计算机系统。其功能是自动化执行测试流程、记录实时数据并生成检测报告。

检测流程

1、咨询：提品资料(说明书、规格书等)

2、确认检测用途及项目要求

3、填写检测申请表(含公司信息及产品必要信息)

4、按要求寄送样品(部分可上门取样/检测)

5、收到样品，安排费用后进行样品检测

6、检测出相关数据，编写报告草件，确认信息是否无误

7、确认完毕后出具报告正式件

8、寄送报告原件