检测项目

表面粗糙度：测量薄膜表面轮廓相对于理想平面的垂直偏差，用于评估表面的平整度和光散射特性。

平均颗粒尺寸与分布：统计分析薄膜表面晶粒或颗粒的平均大小及其分布范围，反映材料的结晶质量和均匀性。

表面形貌三维重构：通过非接触式扫描获取表面的三维高度信息，直观展示峰谷结构和微观起伏。

界面层结构与厚度：分析薄膜与基底之间过渡区域的形貌特征，评估界面结合质量和可能的扩散情况。

孔洞与缺陷密度：识别并统计表面存在的针孔、裂纹等微观缺陷的数量和大小，关联材料的致密性和可靠性。

表面织构与取向：测定晶粒的择优生长方向，分析其对薄膜各向异性电学或光学性能的影响。

台阶覆盖性与台阶高度：在 patterned 基底上评估薄膜对台阶结构的覆盖均匀性，关键用于微电子器件制备。

相分离与成分分布均匀性：观察不同化学相在表面的分布情况，判断制备工艺是否导致成分偏析。

表面污染与残留物分析：检测制备过程中可能引入的表面污染物或前驱体残留，评估清洗工艺的有效性。

检测流程

1、咨询：提品资料(说明书、规格书等)

2、确认检测用途及项目要求

3、填写检测申请表(含公司信息及产品必要信息)

4、按要求寄送样品(部分可上门取样/检测)

5、收到样品，安排费用后进行样品检测

6、检测出相关数据，编写报告草件，确认信息是否无误

7、确认完毕后出具报告正式件

8、寄送报告原件