硅切割液检测

因业务调整，部分个人测试暂不接受委托，望见谅。

检测项目

硅切割液核心检测涵盖三大类共12项关键指标：化学成分分析包含聚乙二醇主成分纯度（≥99.5%）、游离酸含量（≤0.3%）、抗氧化剂浓度（0.5-1.2%）；物理性能测试涉及动态粘度（25℃下40-60 mPa·s）、密度（1.10-1.15 g/cm³）、电导率（≤50 μS/cm）；污染物控制包含铁离子（≤5 ppm）、铜离子（≤2 ppm）、悬浮颗粒粒径分布（D50≤5 μm）及微生物菌落总数（≤100 CFU/mL）。

检测范围

本检测体系适用于多晶硅锭线切割液、单晶硅棒金刚线切割液及碳化硅专用切割液三大类产品：

1. 油基型切割液：重点监控矿物油基础油的芳烃含量（≤1%）与闪点（≥150℃）

2. 水基型切割液：需测定表面活性剂HLB值（12-14）与消泡剂持久性（≥72 h）

3. 再生切割液：增加总有机碳（TOC≤500 mg/L）与CODcr（≤1000 mg/L）指标

特殊应用场景包含8英寸/12英寸晶圆切割液需额外测试纳米磨料粒径一致性（CV≤8%）与Zeta电位（-30~-50 mV）。

检测方法

依据GB/T 31413-2015及SEMI C63-0218标准建立分析方法：

• 电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）测定金属离子：采用内标校正法（Rh为内标），检出限达0.01 ppb

• 激光粒度分析法测定悬浮颗粒：马尔文Mastersizer 3000执行Mie散射理论计算

• 气相色谱-质谱联用（GC-MS）分析有机组分：DB-5MS色谱柱（30 m×0.25 mm×0.25 μm），程序升温50-300℃

• 旋转流变仪测试触变性：测量剪切速率0.1-1000 s⁻¹范围内的粘度变化曲线

微生物检测参照ISO 16266:2006标准，采用膜过滤法进行菌落培养计数。

检测仪器

实验室配置A级精度设备系统：

• 安东帕MCR302流变仪：配备锥板测量系统（直径50 mm/1°锥角），温控精度±0.1℃

• 赛默飞iCAP RQ ICP-MS：具备碰撞反应池技术（KED模式），质量数范围2-260 amu

• 岛津GCMS-QP2020 NX：电子轰击源（EI）70 eV，扫描速度20,000 amu/s

• 梅特勒FE28 pH计：复合玻璃电极，自动温度补偿范围0-100℃

• 布鲁克S8 TIGER XRF光谱仪：波长色散型探测器，元素检测范围Be-U

辅助设备包含Millipore超纯水系统（电阻率18.2 MΩ·cm）及ESCO二级生物安全柜。

检测流程

1、咨询：提品资料(说明书、规格书等)

2、确认检测用途及项目要求

3、填写检测申请表(含公司信息及产品必要信息)

4、按要求寄送样品(部分可上门取样/检测)

5、收到样品，安排费用后进行样品检测

6、检测出相关数据，编写报告草件，确认信息是否无误

7、确认完毕后出具报告正式件

8、寄送报告原件